研究中心：超精密制造技术研究中心
项目负责人：张志辉
成果简介
面对复杂多样的光学器件参数及性能的检测，目前国内外主流方法或仪器大多基于“机器视觉”、“白光干涉”、“接触式探针扫描”等原理，且普遍检测范围受限，制造成本高，检测效率低，以及专机专用等痛点，缺乏能够在单一系统中普遍、可靠、简便、全面地进行多种光学特性测量的技术和仪器。
本技术是基于四波横向剪切干涉方法，具有反射式、投射式两种模式，通过重建波前获得被检光学器件的屈光度分布、面型误差、波像差、MTF及PSF等关键参数及特征，应用对象可涵盖视光镜片、半导体晶圆、生物医学、超表面超透镜等，且成本可控、高效率、高精度、普适性强。
技术优势
本技术克服了大多光学检测设备专机专用、检测范围小、成本昂贵、检测效率低等痛点，可凭借高精度、高效率、高适用性以及高抗扰能力等优势广泛应用于视光学、生物医学、半导体、先进光学等领域，推动复杂光学参数及性能的产业升级。
应用市场
眼视光镜片制造检测、生物医学仪器研发与集成、半导体设备及晶圆检测、超表面/超透镜等先进光学器件检测、先进制造与激光加工。
发展规划
目前已完成技术的初步开发、验证及测试，且相关软硬件技术结合产品已基本成型。后续将申请国家计量鉴定认证，并实现产品化包装，逐步投向市场。
本项目拟采用依托香港理工大学温州技术创新研究院并设立公司的方式开展成果转化，并依托温州本土产业及中国眼谷等寻求合作，取得突破后，快速复制扩展至其他各行业领域。
知识产权
已获得1项发明专利授权，专利号：HK30085210
3项美国专利申请中：63/707,996；63/708,023；63/707,459
合作模式
寻求资源对接，目标合作领域包括眼视光、半导体等相关领域，目标合作企业包括但不限于对视光镜片生产制造及检测、半导体晶圆生产制造及检测等应用有需求的行业；
团队介绍
张志辉，香港理工大学工业及系统工程系讲座教授，超精密加工技术国家重点实验室主任，在超精密制造及测量领域拥有着近30年的研究工作经验。
王波，超精密加工技术国家重点实验室科研主任，长春理工大学硕士。拥有近20年产品开发和生产经验，曾获多项国际大奖。
何丽婷，香港理工大学博士。现任超精密加工技术国家重点实验室经理，长期从事项目管理和运营。
联系方式
何丽婷 博士
WeChatID：littleriver_lesley
Email：lai.ting.ho@polyu.edu.hk
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